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Sistema di collaudo parametrico per semiconduttori Keithley S530Con la nuova versione 5.4 del software per l’ambiente di collaudo parametrico per semiconduttori S530, di Keithley Instruments sono state introdotte anche nuove funzionalità di misura.

I sistemi di collaudo Keitley S530 possono ora essere configurati per collegare sonde Kelvin sfruttando 48 pin e dispongono di nuove opzioni integrate per la generazione di impulsi, misure di frequenza e misure a bassa tensione.

Matrice di commutazione a 48 pin per sonde Kelvin

Il sistema S530 nella versione a bassa corrente utilizza una matrice di commutazione a elevate prestazioni per collegare lo strumento ai pin di collaudo, fornendo una risoluzione di misura inferiore al pA e funzioni di guarding a bassa corrente per i pin della sonda.

Le più recenti migliorie apportate a questo sistema prevedono ora il supporto di una configurazione di commutazione per sonde Kelvin (a quattro fili) a 48 pin, raddoppiando il tal modo il numero di pin disponibili in precedenza.

Potendo garamtire l’integrità dei segnali associati alla commutazione Kelvin raddoppiando al contempo il numero massimo di pin permette di configurare il sistema di collaudo S530 in modo più flessibile per l'esecuzione di misure di precisione ad alta velocità.

Misura della frequenza dell’oscillatore ad anello

Una nuova opzione oscilloscopio ad alta velocità ed elevata risoluzione supporta il collaudo dell’oscillatore ad anello (ring oscillator) in un ampio intervallo di misure di frequenza.

Grazie a una velocità di campionamento che arriva a 400 Ms/s, questa nuova opzione è in grado di misurare oscillazioni in un intervallo compreso approssimativamente tra 10 kHz e 20 MHz.

La possibilità di effettuare misure di frequenza nei sistemi di collaudo parametrici ha assunto un’importanza crescente in quando un numero sempre maggiore di produttori di semiconduttori ha integrato degli oscillatori ad anello (composti da un numero dispari di porte logiche invertenti che oscillano spontaneamente) nelle strutture di collaudo preposte al monitoraggio del controllo del processo produttivo.

Generazione di impulsi

Poiché un numero sempre maggiore di circuiti integrati prevede la presenza a bordo di memorie embedded, ad esempio di tipo flash, i produttori di semiconduttori hanno le necessità di aggiungere misure e strutture di memoria alle loro routine per il monitoraggio del controllo di processo.

Il collaudo di questi dispositivi richiede l’erogazione di impulsi di tensione definiti dall’utente per programmare e cancellare le celle di memoria, seguita da misure in continua (DC) di precisione del dispositivo.

Per soddisfare tali necessità, il modello S530 utilizza il medesimo telaio del sottosistema che attualmente ospita la scheda per strumentazione C-V (Capacitance-Voltage) per integrare due, quattro o sei canali per la generazione di impulsi all’interno della configurazione: in tal modo risulta possibile generare una vasta gamma di forme d’onda personalizzate per il collaudo del dispositivo e aumentare la flessibilità del sistema.

Multimetro digitale di sistema

Per effettuare misure di resistività con il metodo van der Pauw e l'analisi di strutture metalliche che fanno parte del monitoraggio del controllo di processo, è richiesto un mix tra misure a bassa tensione, elevata risoluzione di misura ed eccellente ripetibilità.

Per affrontare meglio questo tipo di applicazioni, i sistemi Keithley S530 mettono ora a disposizione un multimetro digitale opzionale a basso rumore da 7 ½ cifre ottimizzato per le misure a bassa tensione.

Il nuovo multimetro garantisce una risoluzione di 10 nV nella sua gamma inferiore (100 mV) e una risoluzione di 100 nV nella gamma successiva (1 V) con una ripetibilità di misura della tensione DC pari a 7 ppm.

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